внешнее кольцо вафли обозначено как область обработки пластины и исключается из критериев поверхности (например, царапины, ямы, дымка, загрязнение, кратеры, углубления, канавки, курганы, апельсиновая корка и пильные метки). это кольцевое пространство составляет 2 мм для подложек 76,2 мм и 3 мм для подложек 100,0 мм.