тонкий (толщина зависит от диаметра пластины, но обычно меньше 1 мм), круговой срез монокристаллического полупроводникового материала, вырезанного из слитка монокристаллического полупроводника; используемые при изготовлении полупроводниковых приборов и интегральных схем; диаметр пластины может составлять от 5 мм до 300 мм.
измеренный с помощью бесконтактных инструментов ansi, расположенных в центре каждой отдельной пластины.