Главная / Сервисы / знание / 2. Определение размерных свойств, терминологии и методов карбида кремния /

2-24.Общая ориентация

2. Определение размерных свойств, терминологии и методов карбида кремния

категории

Рекомендуемые продукты

последние новости

2-24.Общая ориентация

2018-01-08

вафли выращиваются из кристалла с регулярной кристаллической структурой, причем кремний имеет алмазную кубическую структуру с шагом решетки 5.430710 Å (0,5430710 нм). При разрезании на пластины поверхность выравнивается в одном из нескольких относительных направлений, известных как ориентация кристаллов. ориентация определяется индексом мельницы, когда грани [100] или [111] являются наиболее распространенными для кремния. Ориентация важна, поскольку многие структурные и электронные свойства монокристалла являются сильно анизотропными. ионная имплантация зависит от ориентации кристалла пластины, так как каждое направление предлагает различные пути для транспорта. Расщепление wafer обычно происходит только в нескольких четко определенных направлениях. забивание пластины вдоль плоскостей спайности позволяет легко ее нарезать на отдельные чипы («штампы»), так что миллиарды отдельных элементов схемы на средней пластине могут быть разделены на многие отдельные контуры.


в карбиде кремния, плоскости роста кристаллического карбида кремния. ориентации описываются с использованием показателей мельника, таких как (0001) и т. д. Различные плоскости роста и ориентации имеют различные расположения атомов или решетки, если смотреть с определенного угла.

свяжитесь с нами

если вам нужна цитата или дополнительная информация о наших продуктах, пожалуйста, оставьте нам сообщение, ответьте как можно скорее.