лук - это отклонение центральной точки срединной поверхности свободной, не зажатой пластины от срединной поверхности до эталонной плоскости. где эталонная плоскость определяется тремя углами равностороннего треугольника. это определение основано на теперь устаревшем astm f534.
существует ряд факторов, которые могут влиять на форму пластины, будь то карбид кремния, газы или дюймы. в то время как пластина имеет полную толщину, она имеет прочность на растяжение, чтобы противостоять любым внешним воздействиям от изменения ее формы. однако, поскольку пластина разбавлена, внешние воздействия приведут к тому, что пластина станет вогнутой или выпуклой. некоторые из наиболее распространенных влияний - тип пленки и толщина на поверхности пластины.
вогнутость, кривизну или деформацию осевой линии пластины карбида кремния независимо от любого присутствующего изменения толщины.