дефекты, которые имеют четкую форму для незакрепленного глаза и являются & gt; 50 мкм в поперечнике. эти особенности включают шипы, прилипающие частицы, чипы и кратеры. большие точечные дефекты менее 3 мм друг от друга считаются одним дефектом.
канавки или разрезы ниже плоскости поверхности пластины, имеющие отношение длины к ширине более 5 к 1. царапины, определяются количеством дискретных царапин, умноженных на общую длину в дробном диаметре.
текстуру, напоминающую поверхность мяча для гольфа. указанных в% пострадавших районах.
ступенчатая группировка видна как образец параллельных линий, проходящих перпендикулярно главному at. если они имеются, оцените% затронутой области.
проверяется путем проверки однородного цвета на задней стороне пластины. обратите внимание, что более темная область вблизи центра некоторых более высоколегированных пластин. чистота задней поверхности определена как процентная площадь чистой.
области, где материал был непреднамеренно удален с пластины. Не путайте переломы в эпи-кроне с кромочными чипами.
регионы, где шаг- ow прерывался при росте эпи-слоя. типичные области обычно треугольные, хотя иногда видны более округлые формы. подсчитывать один раз в каждом случае. два включения в пределах 200 мкм считаются единичными.
Контактная информация
luna@powerwaywafer.compowerwaymaterial@gmail.com 
+86-592-5601 404
