вся полезная полупроводниковая электроника требует проводящих сигнальных трактов в каждом устройстве и из него, а также

проводящие межсоединения для передачи сигналов между устройствами на одном чипе и внешней цепи

элементы, которые находятся вне чипа. в то время как sic теоретически способен к фантастической электрической работе

в экстремальных условиях (раздел 5.3) такая функциональность бесполезна без контактов и межсоединений

которые также могут работать при тех же условиях. долговечность и надежность

металл-полупроводниковые контакты и межсоединения являются одним из основных факторов, ограничивающих

высокотемпературные пределы электронной электроники. аналогично, сильные контакты устройства и металлизация

должны выдерживать как высокое, так и высокое напряжение плотности тока, никогда ранее не возникало

в силиконовой электронике.

тема формирования контакта металл-полупроводник является очень важной технической областью слишком широкой

подробно обсуждаться здесь. для общих фоновых дискуссий о контакте металл-полупроводник

физики и образования, читатель должен проконсультироваться с рассказами, представленными в ссылках 15 и 104. Эти

в основном речь идет о омических контактах с обычными узкополосными полупроводниками, такими как

кремний и газы. конкретные обзоры контактной технологии sic metal-полупроводника можно найти в

ссылки 105-110.

как обсуждается в ссылках 105-110, существуют как сходства, так и несколько различий между sic

контактов и контактов с обычными узкополосными полупроводниками (например, кремний, гааз).

те же основные физические и текущие транспортные механизмы, которые присутствуют в узкополосных контактах

такие как поверхностные состояния, ферми-пиннинг, термоэлектронная эмиссия и туннелирование, также применимы к sic-контактам.

естественным следствием более широкой запрещенной зоны sic является более высокая эффективная высота шоттки-барьера.

аналогично физике с узкополосным омическим контактом, микроструктурное и химическое состояние

интерфейс sic-metal имеет решающее значение для контакта с электрическими свойствами. поэтому предварительное осаждение

подготовка поверхности, процесс осаждения металла, выбор металла и отжиг после осаждения

все это сильно влияет на результаты работы металлических контактов. поскольку химический характер

начальная sic-поверхность сильно зависит от полярности поверхности, нередко получается

существенно отличающиеся результаты, когда один и тот же контактный процесс применяется к поверхности кремния

по сравнению с поверхностью поверхности углерода.