Главная / Новости /

травитель для определения дефектов картины потока в сильно легированных кремниевых пластинах p-типа

Новости

категории

Рекомендуемые продукты

последние новости

травитель для определения дефектов картины потока в сильно легированных кремниевых пластинах p-типа

2017-04-22

Абстрактные


secco etchant обычно используется для определения дефектов картины потока (fpds) в слаболегированных czochralski (cz) кремниевых пластинах. однако, fpds в сильно легированных кремниевых пластинах p-типа не могут быть хорошо очерчены с помощью secco-травителя. в данном случае, травитель, основанный на системе cro3hfh2o, с оптимизированным отношением объема v (cro3): v (hf) = 2: 3, где концентрация cro3 составляет 0,25-0,35 м, была разработана для разграничения fpds с четко определенными морфологиями для сильнопламенных кремниевых пластин p-типа с бором (b).


ключевые слова: сильно легированный кремний типа p, дефекты картины потока, очертание, предпочтительное травление


Источник: ScienceDirect


Для получения более подробной информации, пожалуйста, посетите наш веб-сайт: http://www.semiconductorwafers.net ,

отправьте нам письмо по адресу angel.ye@powerwaywafer.com или powerwaymaterial@gmail.com ,

свяжитесь с нами

если вам нужна цитата или дополнительная информация о наших продуктах, пожалуйста, оставьте нам сообщение, ответьте как можно скорее.