в последнее десятилетие соединения iii-n вызвали большой интерес из-за их применения в синей, фиолетовой и ультрафиолетовой оптоэлектронике. большинство устройств и исследований используют сапфир в качестве субстрата для эпитаксии нитридов. однако эти эпиструктуры содержат очень высокую плотность дислокаций, вызванную несоответствием решетки 16% между ган и сапфир. в нашей лаборатории мы выращивае...
был оценен слой улавливания графита для защиты поверхности узорчатых и выборочно имплантированных 4h-sic эпитаксиальных вафель во время послеимплантационного отжига. Фоторезист az-5214e формовали и выпекали в вакууме при температурах от 750 до 850 ° c, чтобы образовать непрерывное покрытие как на плоских, так и на мезотравных поверхностях с характеристиками до 2 мкм в высоту. полная конверсия гидр...
в этой статье мы рассмотрели разработки по изготовлению неполярных (т-плоскости и а-плоскости) и полуполярных (т. е. (20,1)) пластин методом аммонотермических измерений. описаны способ роста и результаты полировки. нам удалось изготовить неочищенные и полуполярные пластины 26 мм × 26 мм. эти пластины обладают выдающимися структурными и оптическими свойствами с плотностью дислокаций с резьбой поряд...
на всей поверхности (10 мм × 10 мм) нижнего электрода srruo3 на монокристаллической подложке srtio3 с использованием лазерной интерференционной литографии были изготовлены массивы на пластинчатых шкалах хорошо упорядоченных наноразмерных наночастиц pb (zr0,2ti0,8) o3 и наночастиц (lil) в сочетании с импульсным лазерным осаждением. форма и размер наноструктур контролировались количеством pzt, осажд...
мы исследовали уровни энергии перехода дефектов вакансий в нитриде галлия с помощью подхода теории функционала гибридной плотности (dft). мы показываем, что, в отличие от прогнозов недавнего исследования уровня чисто локальной dft, включение экранированного обмена стабилизирует трехполюсное зарядовое состояние вакансии азота для энергий ферми, близких к валентной зоне. с другой стороны, уровни деф...
микромашина algan / gan с высокоэлектронной подвижностью ( НЕМТ ) на подложке si с алмазоподобными углерод-титановыми (dlc / ti) слоями тепловыделения. превосходная теплопроводность и коэффициент теплового расширения, аналогичный ган чтобы dlc / ti эффективно рассеивал теплоты мощности gan через подложку si через отверстия. этот гемт с дизайном dlc также поддерживал стабильную плотность тока при у...
условие роста тонкоизмельченных доз мг ган и его влияние на формирование омического контакта p-типа gan. подтверждается, что чрезмерное допирование мг может эффективно усилить контакт ni / au с p- ган после отжига при 550 ° С. когда отношение скорости потока между источниками газа мг и газа составляет 6,4%, а ширина слоя составляет 25 нм, укупоривающий слой, выращенный при 850 ° С, обладает лучшим...
последние обзоры в развитии эпитаксиальных sic-фильмов на si. обсуждаются основные классические методы, используемые в настоящее время для роста sic-фильмов, и изучаются их преимущества и недостатки. дана основная идея и теоретический фон для нового метода синтеза эпитаксиальных sic-пленок на si. будет показано, что новый метод существенно отличается от классических методов тонкопленочного роста, ...