на всей поверхности (10 мм × 10 мм) нижнего электрода srruo3 на монокристаллической подложке srtio3 с использованием лазерной интерференционной литографии были изготовлены массивы на пластинчатых шкалах хорошо упорядоченных наноразмерных наночастиц pb (zr0,2ti0,8) o3 и наночастиц (lil) в сочетании с импульсным лазерным осаждением. форма и размер наноструктур контролировались количеством pzt, осажд...
мы представляем новый процесс интеграции германий с кремний-на-изоляторе (soi). германий имплантируется в soi, который затем окисляется, захватывая германий между двумя оксидными слоями (выращенный оксид и захороненный оксид). при тщательном контроле условий имплантации и окисления этот процесс создает тонкий слой (текущие эксперименты показывают до 20-30 нм) почти чистого германия. слой может быт...
процесс уменьшения плотности дислокаций в 3-дюймовом fe-легированном inp вафли описывается. процесс роста кристаллов представляет собой обычный жидкий инкапсулированный czochralsky (lec), но добавлены тепловые экраны для уменьшения теплового градиента в растущем кристалле. форма этих экранов была оптимизирована с помощью численного моделирования теплообмена и термомеханических напряжений. этот про...
интенсивность и интенсивность света рассеяния кислорода в cz-кремний кристаллы измеряются с помощью светорассеивающей томографии. численные данные, проясненные посредством измерений, обсуждаются в отношении количества осажденного кислорода. полученные здесь результаты хорошо согласуются с теоретическим анализом того, что осадки кислорода вызывают рассеяние света. информация, полученная с помощью с...
Облучение ионного пучка было рассмотрено как способ создания наноразмерных полупроводниковых столбчатых и конусообразных структур, но имеет недостаток в неточном размещении наноструктур. Мы сообщаем о методе создания и шаблонирования наноразмерных InAs спайки путем фокусированного ионного пучка (FIB) облучения как гомоэпитаксиальных пленок InAs, так и гетероэпитаксиальных InAs на подложках InP. Эт...
Мы представляем бесконтактный метод для определения времени теплового отклика датчиков температуры, встроенных в пластины. В этом методе импульсная лампа освещает пятно на пластине периодическими импульсами; пятно находится на противоположной стороне от тестируемого датчика. Тепловая постоянная времени датчика затем получается из измерения его временного отклика вместе с теоретической моделью тепл...
Бесконтактный неразрушающий метод визуализации концентрации легирующей примеси с пространственным разрешением [2.2] N d и удельного электрического сопротивления ρ кремниевых пластин n- и p-типа.с использованием синхронизированных изображений керриграфии при различных интенсивностях лазерного излучения. Информация об амплитуде и фазе с участков пластин с известным удельным сопротивлением использова...
Дан обзор последних достижений в выращивании эпитаксиальных пленок SiC на Si. Обсуждаются основные классические методы, используемые в настоящее время для выращивания пленок SiC, исследуются их преимущества и недостатки. Основная идея и теоретическое обоснование нового метода синтеза эпитаксиальных пленок SiCна Си даются. Будет показано, что новый метод существенно отличается от классических метод...