был оценен слой улавливания графита для защиты поверхности узорчатых и выборочно имплантированных 4h-sic эпитаксиальных вафель во время послеимплантационного отжига. Фоторезист az-5214e формовали и выпекали в вакууме при температурах от 750 до 850 ° c, чтобы образовать непрерывное покрытие как на плоских, так и на мезотравных поверхностях с характеристиками до 2 мкм в высоту. полная конверсия гидр...
pam-xiamen выращивает высокомолекулярные слитки монокристалла галлий-антимонида (gasb). мы также круглые, видели разрезанные, накладочные и полирующие вафли и можем обеспечить эпи-готовое качество поверхности. газовый кристалл представляет собой соединение, образованное 6n чистым ga и sb элементом и выращивается жидким инкапсулированным czochralski (lec) методом с epd \u0026 lt; 1000 см -3. газовы...
в этой статье мы рассмотрели разработки по изготовлению неполярных (т-плоскости и а-плоскости) и полуполярных (т. е. (20,1)) пластин методом аммонотермических измерений. описаны способ роста и результаты полировки. нам удалось изготовить неочищенные и полуполярные пластины 26 мм × 26 мм. эти пластины обладают выдающимися структурными и оптическими свойствами с плотностью дислокаций с резьбой поряд...
последние обзоры в развитии эпитаксиальных sic-фильмов на si. обсуждаются основные классические методы, используемые в настоящее время для роста sic-фильмов, и изучаются их преимущества и недостатки. дана основная идея и теоретический фон для нового метода синтеза эпитаксиальных sic-пленок на si. будет показано, что новый метод существенно отличается от классических методов тонкопленочного роста, ...
процесс уменьшения плотности дислокаций в 3-дюймовом fe-легированном inp вафли описывается. процесс роста кристаллов представляет собой обычный жидкий инкапсулированный czochralsky (lec), но добавлены тепловые экраны для уменьшения теплового градиента в растущем кристалле. форма этих экранов была оптимизирована с помощью численного моделирования теплообмена и термомеханических напряжений. этот про...
в сегментах были выращены на вершинах гаасских островов, первоначально созданных каплеобразной эпитаксией на кремниевой подложке. мы систематически изучали пространство параметров роста для осаждения inas, определяя условия селективного роста на СаАз и для чисто аксиального роста. осевые сегменты были сформированы со своими боковыми стенками, повернутыми на 30 $ {{} ^ circ} $ по сравнению с базовы...
в этой статье предлагается новый трехмерный (3d) фотолитография технологии для микропроцессорного процесса с высоким разрешением на волокнистой подложке. также представлен краткий обзор технологии литографии неплоской поверхности. предлагаемая технология в основном включает в себя микрообработку трехмерного модуля экспозиции и напыление тонких пленок сопротивления на волокно. 3D-модуль экспозиции ...
Для реализации высокопроизводительного карбида кремния ( SiC ), должны быть разработаны низкоомные омические контакты с p-образным SiC. Для уменьшения омического контактного сопротивления требуется снижение высоты барьера на границах металл / SiC или увеличение концентрации легирования на подложках SiC. Поскольку уменьшение высоты барьера чрезвычайно затруднено, увеличение концентрации легирования...
Контактная информация
luna@powerwaywafer.compowerwaymaterial@gmail.com 
+86-592-5601 404
