Главная / Новости /

comb-drive gan micro-mirror на платформе gan-on-silicon

Новости

категории

Рекомендуемые продукты

последние новости

comb-drive gan micro-mirror на платформе gan-on-silicon

2018-04-02

мы сообщаем здесь о двухстороннем процессе для изготовления микро-зеркала с гребенчатым газом на платформе gan-on-silicon. кремниевая подложка сначала рисуется с обратной стороны и удаляется глубоким реактивным ионным травлением, что приводит к полностью подвешенным газовым плитам. gan микроструктуры, включая торсионные стержни, подвижные гребни и зеркальную пластину, затем определяются на отдельно стоящей ганской плите методом выравнивания задней поверхности и генерируются путем травления быстрыми атомами с помощью газа cl2. хотя изготовленные микро-зеркала с гребенчатым гребнем отклоняются от остаточного напряжения в тонких пленках gan, они могут работать на подложке с высоким удельным сопротивлением без введения какого-либо дополнительного изолирующего слоя. оптические углы вращения экспериментально охарактеризованы в экспериментах по вращению. эта работа открывает возможность создания gan оптических микроэлектромеханических систем (мем) устройств на платформе gan-on-silicon.


Источник: iopscience


Для получения более подробной информации, пожалуйста, посетите наш веб-сайт: http://www.semiconductorwafers.net ,


отправьте нам письмо по адресу angel.ye@powerwaywafer.com или powerwaymaterial@gmail.com




свяжитесь с нами

если вам нужна цитата или дополнительная информация о наших продуктах, пожалуйста, оставьте нам сообщение, ответьте как можно скорее.