Небольшая матрица линз Френеля была превращена в алмаз монокристаллическая пластина InSb используя одноточечный алмазный инструмент с отрицательным передним углом на половину радиуса (-25 °). Обработанный массив состоял из трех вогнутых линз Френеля, нарезанных под разные последовательности обработки. Профили линз Френеля были разработаны для работы в параксиальной области, имеющей квадратичное фазовое распределение. Образец исследовали методом сканирующей электронной микроскопии и оптического профилометра.

Оптическая профилометрия также использовалась для измерения шероховатости поверхности обработанной поверхности. На лицевой поверхности граблей режущего инструмента наблюдали пластичную лентоподобную стружку. Никаких признаков износа режущей кромки на алмазном инструменте не наблюдалось. Обработанная поверхность представляла собой аморфную фазу, зондированную с помощью микрорамановской спектроскопии. Успешная термическая обработка отжига была проведена для восстановления кристаллической фазы на обработанной поверхности. Результаты показали, что процесс «механической литографии» можно выполнять в монокристаллические полупроводники ,

Источник: iopscience

Для получения дополнительной информации или больше продуктов, таких как Германий монокристаллы , монокристаллические пластины , InSb вафельный и т.д., пожалуйста, посетите наш сайт:semiconductorwafers.net ,

отправьте нам письмо наangel.ye@powerwaywafer.com или жеpowerwaymaterial@gmail.com ,