слой

состав

толщина (мкм)

легирование (см-3)

кепка

p + - gaas

0.2

гп: \u0026 GT; 1e19

покрытие

p - al0.8ga0.2as

1

гп: 1e18

остановка травления

GaInP

0,008

гп: 1e18

верхний барьер

al0.45ga0.55as

0,09

нелегированный

Что ж

al0.18ga0.82as

0,004

нелегированный

барьер

al0.45ga0.55as

0,01

нелегированный

Что ж

al0.18ga0.82as

0,004

нелегированный

барьер

al0.45ga0.55as

0,01

нелегированный

Что ж

al0.18ga0.82as

0,004

нелегированный

нижний барьер

al0.45ga0.55as

0,09

нелегированный

покрытие

n - al0.8ga0.2as

1.4

си: 1e18

буфер

n - gaas

0,5

си: 1e18

подложка

n + - gaas

\u0026 ЕПРС;

s: \u0026 gt; 1e18