кремний-на-изоляторе (soi) - одна из самых привлекательных платформ для оптической интегральной схемы с возможностью реализации высокопроизводительной сверхбольшей интеграции (ulsi) и миниатюризации устройства. в этой работе, основанной на симуляциях для получения соответствующих оптических свойств пористой кремниевой микрорезонации (psm), мы успешно изготовили высокоэффективный psm на подложке soi путем электрохимического травления для обнаружения dna на оптической длине волны 1555,0 нм. узкий резонансный пик с полной шириной в половине максимума около 26,0 нм в спектре отражения дает высокий коэффициент q, который вызывает высокую чувствительность к чувствительности. чувствительность этого датчика исследуется с помощью гибридной гибридной парной пары dna в psm путем модификации поверхности с использованием стандартного метода химии сшивки. красное смещение спектров отражения показывает хорошую линейную зависимость с дополнительной концентрацией dna в диапазоне от 0,625 до 12,500 мкм, а предел обнаружения составляет 43,9 нм. этот оптический psm на soi является высокочувствительным, быстро реагирующим, легким в изготовлении и недорогим, что в целом принесет пользу для разработки нового оптического без метки биосенсора на пластине soi и обладает большим потенциалом для биочипов на основе интегрированных оптических устройств.

Основные моменты

► с помощью электрохимического травления был изготовлен чувствительный без маркировки psm-биосенсор на soi-пластине. ► путем моделирования и экспериментов, мы оптимизировали ps3-биосенсор с высоким значением q и высокой чувствительностью. ► этот биосенсор использовался для обнаружения dna, а красный сдвиг показывает хорошую линейную связь с dna. ► этот оптический psm на soi может быть большим потенциалом для биочипов на основе интегрированных оптических устройств.

ключевые слова

пластина из кремния на изоляторе; пористый кремниевый микрорезонатор; dna биосенсор; высокая чувствительность

Источник: ScienceDirect

Для получения более подробной информации, пожалуйста, посетите наш веб-сайт: http://www.powerwaywafer.com /, пришлите нам письмо по адресу sales@powerwaywafer.com или powerwaymaterial@gmail.com ,