подложки для осаждения пленки нитрида III-V
кристалл |
состав |
т.пл. |
плотность |
неправильное совпадение решетки ган |
тепловое расширение |
технология роста. . \u0026 Амп; максимальный размер |
стандартная подложка размер (мм) |
о с |
г / см 3 |
(10 -6 / К) |
|||||
так (Пример 6h) |
шестиугольный |
~ 2700 |
3,21 |
3,5% атори. |
10,3 |
CVD |
Ø2 \"x 0,3, Ø 3\" x0,3 |
a = 3.073 Å |
\u0026 ЕПРС; |
\u0026 ЕПРС; |
20x20x0.3,15x15x0.3 |
||||
c = 15,117 Å |
\u0026 ЕПРС; |
Ø3“ |
10x10x0.3,5x5x0.3 |
||||
\u0026 ЕПРС; |
subl. |
\u0026 ЕПРС; |
1 сторона поли полированная |
||||
аль 2 о 3 |
шестиугольный |
2030 |
3,97 |
14% атори. |
7,5 |
CZ |
Ø50 x 0,33 |
a = 4,758 Å |
\u0026 ЕПРС; |
Ø25 x 0,50 |
|||||
c = 12,99 Å |
Ø2” |
10x10x0.5 |
|||||
\u0026 ЕПРС; |
\u0026 ЕПРС; |
1 или 2 стороны, отполированные |
|||||
LiAlO 2 |
четырехугольный |
1900 ~ |
2,62 |
1,4% атори. |
/ |
CZ |
10x10x0.5 |
a = 5,17 Å |
Ø20 мм |
1 или 2 стороны, отполированные |
|||||
c = 6,26 Å |
\u0026 ЕПРС; |
\u0026 ЕПРС; |
|||||
Ligao 2 |
orthor. |
1600 |
4,18 |
0,2% атори. |
/ |
CZ |
10x10x0.5 |
a = 5,406 Å |
Ø20 мм |
1 или 2 стороны, отполированные |
|||||
б = 5.012Å |
\u0026 ЕПРС; |
\u0026 ЕПРС; |
|||||
c = 6,379 Å |
\u0026 ЕПРС; |
\u0026 ЕПРС; |
|||||
МдО |
кубический |
2852 |
3,58 |
3% атори. |
12,8 |
флюс |
2 \"x2\" x 0,5 мм, Ø2 \"x 0,5 мм |
a = 4,216 Å |
\u0026 ЕПРС; |
1 \"x1\" x 0,5 мм, Ø1 \"x 0,5 мм |
|||||
\u0026 ЕПРС; |
Ø2\" |
10 x10x0,5 мм |
|||||
1 или 2 стороны, отполированные |
|||||||
миллигал 2 о 4 |
кубический |
2130 |
3,6 |
9% атори. |
7,45 |
CZ |
Ø2 \"x 0,5 |
a = 8,083 Å |
Ø2“ |
10x10x0.5 |
|||||
\u0026 ЕПРС; |
\u0026 ЕПРС; |
1 или 2 стороны, отполированные |
|||||
ZnO |
hexag. |
1975 |
5,605 |
2,2% атори. |
2,9 |
гидротермический |
20x20x0.5 |
a = 3,325 Å |
20мм |
1 или 2 стороны, отполированные |
|||||
c = 5,213 Å |
\u0026 ЕПРС; |
\u0026 ЕПРС; |
|||||
ган |
шестиугольный |
\u0026 ЕПРС; |
6,15 |
\u0026 ЕПРС; |
5,59 |
\u0026 ЕПРС; |
10x10x0.475mm |
\u0026 ЕПРС; |
\u0026 ЕПРС; |
5x5x0.475mm |