любые посторонние вещества на поверхности в локализованных зонах, которые обнаруживаются при высокой интенсивности (или диффузном) освещении, как обесцвеченный, пестрый или облачный вид, возникающий в результате пятен, пятен или водяных пятен.
перелом или расщепление пластины, которая простирается от фронтальной поверхности пластины до задней поверхности пластины. трещины должны превышать 0,010 дюйма в длину при освещении высокой интенсивности, чтобы различать линии разрушения из допустимых кристаллических страт. линии разлома обычно демонстрируют острые тонкие линии распространения, которые различают их от материальных страт.
любые краевые аномалии (в том числе отметки о выходе из пластины), превышающие 1,0 мм в радиальной глубине или ширине. если смотреть под диффузным освещением, краевые чипы определяются как непреднамеренно отсутствующие материалы с края пластины.
внешнее кольцо вафли обозначено как область обработки пластины и исключается из критериев поверхности (например, царапины, ямы, дымка, загрязнение, кратеры, углубления, канавки, курганы, апельсиновая корка и пильные метки). это кольцевое пространство составляет 2 мм для подложек 76,2 мм и 3 мм для подложек 100,0 мм.
гексагональной формы тромбоцитов на поверхности пластины, которые имеют серебристый цвет невооруженным глазом при диффузном освещении.
также называемый \"насыпь\" когда один дефект предотвращает обнаружение другого дефекта, необнаруженный дефект называется маскированным дефектом. отдельную возвышенную область над поверхностью передней поверхности пластины, если смотреть с диффузным освещением.
визуально обнаруживаемая шероховатость поверхности при наблюдении под диффузным освещением.
индивидуальные различимые поверхностные аномалии, которые появляются как депрессия на поверхности пластины с отношение длины к ширине менее 5 к 1 и видимое при освещении высокой интенсивности.
Контактная информация
luna@powerwaywafer.compowerwaymaterial@gmail.com 
+86-592-5601 404
