благодаря технологии mocvd и mbe, pam-xiamen, поставщик эпитаксиальных вафель, предлагает эпитаксиальные пластинчатые изделия, включая эпитаксиальную пластину gan, эпитаксиальную пластину gaas, эпитаксиальную пластину sic, эпитаксиальную пластину inp, и теперь мы кратко представляем следующее:

1) gan эпитаксиальный рост на шаблоне сапфира;

тип проводимости: si легированный (n +)

толщина: 4um, 20um, 30 мкм, 50um, 100um

ориентация: ось c (0001) ± 1,0 °

удельное сопротивление: \u0026 lt; 0,05 Ом · см

плотность дислокаций: \u0026 lt; 1 \u0026 bull; 108 см-2

структура субстрата: ган на сапфире (0001)

передняя поверхность (ga-face): как выращивание

обработка задней поверхности: ssp или dsp

полезная площадь: ≥ 90%

доступные размеры: 2 \"(50,8 мм), 3\" (76,2 мм) и 4 \"(100 мм)

доступные оценки: производство, исследования и райдер

2) альфа-эпитаксиальный рост по шаблону сапфира;

тип проводимости: полуизолирующий

толщина: 50-1000 нм +/- 10%

ориентация: ось c (0001) +/- 1o

плоскость ориентации: a-plane

xrd fwhm (0002): \u0026 lt; 200 arcsec

структура подложки: aln на сапфире

покрытие задней поверхности: ssp или dsp, epi-ready

полезная площадь: ≥ 90%

доступные размеры: 2 \"(50,8 мм),

доступные оценки: производство, исследования и райдер

3) эпитаксиальный рост алкана на сапфире, включая структуру гемта;

тип проводимости: полуизолирующий

толщина: 50-1000 нм +/- 10%

ориентация: ось c (0001) +/- 1o

плоскость ориентации: a-plane

xrd fwhm (0002): \u0026 lt; 200 arcsec

структура субстрата: альган на сапфире

покрытие задней поверхности: ssp или dsp, epi-ready

полезная площадь: ≥ 90%

доступные размеры: 2 \"(50,8 мм),

доступные оценки: производство, исследования и райдер

4) lt-gaas epi слой на подложке гааса

диаметр (мм): Ф 50,8 мм ± 1 мм

толщина: 1-2um или 2-3um

плотность дефекта марка: ≤ 5 см-2

удельное сопротивление (300k): \u0026 gt; 108 Ом-см

Носитель: \u003c0.5ps

плотность дислокаций: \u0026 lt; 1 \u0026 bull; 106 см-2

Полезная площадь поверхности: ≥80%

полировка: односторонняя полировка

субстрат: гааз-субстрат

5) эпитаксиальные вафли с шатткой диода

эпитаксиальная структура
нет.	материал	состав	толщина мишени (мкм)	толщина tol.	с / с (см 3 ) целевой	c / c tol.	добавка	тип несущей конструкции
4	СаАз	\u0026 ЕПРС;	1	± 10%	\u003e 5.0e18	н /	си	п ++
3	СаАз	\u0026 ЕПРС;	0,28	± 10%	2.00e + 17	± 10%	си	N
2	Джорджия 1-х аль Икс в виде	х = 0,50	1	± 10%	-	н /	-	-
1	СаАз	\u0026 ЕПРС;	0,05	± 10%	-	н /	-	-
субстрат: 2 '', 3 '', 4 \"

6) gaas hemt epi wafer

1) 4-дюймовые подложки с ориентацией [100],

2) [буферная] сверхрешетка al (0,3) ga (0,7) как / gaas с толщиной

10/3 нм, повторить 170 раз,

3) барьер al (0,3) ga (0,7) в виде 400 нм,

4) квантовая яма gaas 20 нм,

5) спейсер al (0,3) ga (0,7) в виде 15 нм,

6) дельта-легирование с помощью si для создания электронной плотности 5-6 * 10 ^ 11 см ^ (- 2),

7) барьер al (0,3) ga (0,7) в виде 180 нм,

8) колпачковый слой gaas 15 нм.

7) inp эпитаксиальная пластина:

inp субстрат:

p / e 2 \"dia × 350 +/- 25um,

n-type inp: s

(100) +/- 0,5 °,

EDP ​​\u0026 л; 1E4 / см2.

односторонняя полировка, задние матовые протравленные полуфабрикаты.

эпи-слой:

epi 1: ingaas: (100)

толщина: 100 нм,

слой останова травления

epi 2: inp: (100)

толщина: 50 нм,

склеивающий слой

8) синяя светодиодная пластина

п-GaN / п-AlGaN / InGaN / GaN / н-ган / U-Gan

p-gan 0.2um

p-algan 0.03um

ingan / gan (активная область) 0.2um

n-gan 2.5um

etch stop 1.0um

u-gan (буфер) 3.5um

al2o3 (субстрат) 430um

9) зеленая светодиодная пластина

1. сапфировый субстрат: 430 мкм

2. Буферный слой: 20 нм

3.undund gan: 2.5um

4.si doped gan 3um

5.quantum well light emtting area: 200nm

6.электронный барьерный слой 20 нм

7.mg допированный gan 200 нм

8. контакт с поверхностью 10 нм

источник: pam-xiamen

сопутствующие товары:

Эпинальный рост на сапфире.

algap / gaas epi wafer для солнечных батарей

на основе эпитаксиальной пластины на основе gaas для led и ld

gaas phemt epi wafer

gaas mhemt epi wafer

gaas hbt epi wafer

ingaas / inp epi wafer для штифта

inp / ingaas / inp epi wafer

sic эпитаксиальная пластина:

если вам нужна дополнительная информация о Пэм-Сямынь предлагаем эпитаксиальную пластину для светодиодного, лд и микро-электронного приложения, посетите наш веб-сайт: http://www.powerwaywafer.com , пришлите нам письмо по адресу powerwaymaterial@gmail.com ,