регионы, где шаг- ow прерывался при росте эпи-слоя. типичные области обычно треугольные, хотя иногда видны более округлые формы. подсчитывать один раз в каждом случае. два включения в пределах 200 мкм считаются единичными.
Контактная информация
luna@powerwaywafer.compowerwaymaterial@gmail.com 
+86-592-5601 404
