pwam разрабатывает и производит составные полупроводниковые подложки - кристалл арсенида галлия и вафли. Мы использовали передовые технологии выращивания кристаллов, технологию вертикальной градиентной заморозки (vgf) и технологии обработки валов gaas, создали производственную линию от роста кристаллов, резки, шлифования до обработки полировки и построили чистая комната класса 100 для очистки и упаковки пластин. наша гаасовая пластина включает в себя слитки / пластины 2 ~ 6 дюймов для приложений led, ld и microelectronics. Мы всегда стремимся улучшить качество существующих подстанций и разрабатывать подложки большого размера.
MOQ :
1(гаас) арсенида галлия
pwam разрабатывает и производит составные полупроводниковые подложки - кристалл арсенида галлия и вафли. Мы использовали передовые технологии выращивания кристаллов, технологию вертикальной градиентной заморозки (vgf) и технологии обработки валов gaas, создали производственную линию от роста кристаллов, резки, шлифования до обработки полировки и построили чистая комната класса 100 для очистки и упаковки пластин. наша гаасовая пластина включает в себя слитки / пластины 2 ~ 6 дюймов для приложений led, ld и microelectronics. Мы всегда стремимся улучшить качество существующих подстанций и разрабатывать подложки большого размера.
(гаас) арсенида галлия для ведомых применений
|
пункт |
технические характеристики |
замечания |
|
тип проводимости |
SC / п-типа |
sc / p-type с Доступен zn dope |
|
метод роста |
VGF |
u0026 ЕПРС; |
|
добавка |
кремний |
Доступен zn |
|
вафельный диаметр |
2, 3 и amp; 4 дюймовый |
слиток или асфальт Имеющаяся |
|
кристалл ориентация |
(100) 2 / 6 / 15 от (110) |
Другие доступно разориентирование |
|
из |
ej или us |
u0026 ЕПРС; |
|
перевозчик концентрация |
(0,4 ~ 2,5) E18 / см 3 |
u0026 ЕПРС; |
|
удельное сопротивление при к.т. |
(1,5 ~ 9) е-3 ohm.cm |
u0026 ЕПРС; |
|
мобильность |
1500 ~ 3000cm 2 · сек |
u0026 ЕПРС; |
|
плотность травильной ямы |
u0026 Л; 5000 / см 2 |
u0026 ЕПРС; |
|
лазерная маркировка |
по требованию |
u0026 ЕПРС; |
|
чистота поверхности |
p / e или p / p |
u0026 ЕПРС; |
|
толщина |
220 ~ 450um |
u0026 ЕПРС; |
|
эпитаксия готова |
да |
u0026 ЕПРС; |
|
пакет |
одиночная пластина контейнер или кассета |
u0026 ЕПРС; |
(гаас) вазы арсенида галлия для ld-приложений
|
пункт |
технические характеристики |
замечания |
|
тип проводимости |
SC / п-типа |
u0026 ЕПРС; |
|
метод роста |
VGF |
u0026 ЕПРС; |
|
добавка |
кремний |
u0026 ЕПРС; |
|
вафельный диаметр |
2, 3 и amp; 4 дюймовый |
слиток или асфальт доступный |
|
кристалл ориентация |
(100) 2 / 6 / 15 от (110) |
Другие доступно разориентирование |
|
из |
ej или us |
u0026 ЕПРС; |
|
перевозчик концентрация |
(0,4 ~ 2,5) E18 / см 3 |
u0026 ЕПРС; |
|
удельное сопротивление при к.т. |
(1,5 ~ 9) е-3 ohm.cm |
u0026 ЕПРС; |
|
мобильность |
1500 ~ 3000 см 2 · сек |
u0026 ЕПРС; |
|
плотность травильной ямы |
u0026 Л; 500 / см 2 |
u0026 ЕПРС; |
|
лазерная маркировка |
по требованию |
u0026 ЕПРС; |
|
чистота поверхности |
p / e или p / p |
u0026 ЕПРС; |
|
толщина |
220 ~ 350um |
u0026 ЕПРС; |
|
эпитаксия готова |
да |
u0026 ЕПРС; |
|
пакет |
одиночная пластина контейнер или кассета |
u0026 ЕПРС; |
(гаас) арсенида галлия, полуизолирующие для применения в микроэлектронике
|
пункт |
технические характеристики |
замечания |
|
тип проводимости |
изолирующий |
u0026 ЕПРС; |
|
метод роста |
VGF |
u0026 ЕПРС; |
|
добавка |
нелегированный |
u0026 ЕПРС; |
|
вафельный диаметр |
2, 3 и amp; 4 дюймовый |
болванка доступный |
|
кристалл ориентация |
(100) +/- 0,5 |
u0026 ЕПРС; |
|
из |
ej, us или notch |
u0026 ЕПРС; |
|
перевозчик концентрация |
н / |
u0026 ЕПРС; |
|
удельное сопротивление при к.т. |
u0026 gt; 1e7 Ом · см |
u0026 ЕПРС; |
|
мобильность |
u0026 gt; 5000 см 2 · сек |
u0026 ЕПРС; |
|
плотность травильной ямы |
u0026 lt; 8000 / см 2 |
u0026 ЕПРС; |
|
лазерная маркировка |
по требованию |
u0026 ЕПРС; |
|
чистота поверхности |
р / р |
u0026 ЕПРС; |
|
толщина |
350 ~ 675um |
u0026 ЕПРС; |
|
эпитаксия готова |
да |
u0026 ЕПРС; |
|
пакет |
одиночная пластина контейнер или кассета |
u0026 ЕПРС; |
6 "(гаас) арсенида галлия, полуизолирующие для применения в микроэлектронике
|
пункт |
технические характеристики |
замечания |
|
тип проводимости |
полуизолирующих |
u0026 ЕПРС; |
|
метод выращивания |
VGF |
u0026 ЕПРС; |
|
добавка |
нелегированный |
u0026 ЕПРС; |
|
тип |
N |
u0026 ЕПРС; |
|
diamater (мм) |
150 ± 0,25 |
u0026 ЕПРС; |
|
ориентация |
(100) 0 ± 3,0 |
u0026 ЕПРС; |
|
вырезка ориентация |
〔 010 〕 ± 2 |
u0026 ЕПРС; |
|
глубина углубления (мм) |
(1-1,25) мм 89 -95 |
u0026 ЕПРС; |
|
перевозчик концентрация |
н / |
u0026 ЕПРС; |
|
Удельное сопротивление (ohm.cm) |
u003e 1,0 × 10 7 или 0,8-9 × 10 -3 |
u0026 ЕПРС; |
|
подвижность (см2 / v.s) |
н / |
u0026 ЕПРС; |
|
вывих |
н / |
u0026 ЕПРС; |
|
Толщина (мкм) |
675 ± 25 |
u0026 ЕПРС; |
|
исключение для лука и основы (мм) |
н / |
u0026 ЕПРС; |
|
лук (мкм) |
н / |
u0026 ЕПРС; |
|
перекос (мкм) |
≤20.0 |
u0026 ЕПРС; |
|
TTV (мкм) |
≤ 10,0 |
u0026 ЕПРС; |
|
тир (мкм) |
≤10.0 |
u0026 ЕПРС; |
|
lfpd (мкм) |
н / |
u0026 ЕПРС; |
|
полирование |
p / p epi-ready |
u0026 ЕПРС; |
2 "lt-gaas (низкотемпературный галогенид арсенид) спецификации пластины
|
пункт |
технические характеристики |
замечания |
|
diamater (мм) |
Ф 50,8 мм ± 1 мм |
u0026 ЕПРС; |
|
толщина |
1-2um или 2-3um |
u0026 ЕПРС; |
|
дефект marco плотность |
≤ 5 см -2 |
u0026 ЕПРС; |
|
Удельное сопротивление (300k) |
u0026 GT; 10 8 Ом-см |
u0026 ЕПРС; |
|
перевозчик |
u003c 0.5ps |
u0026 ЕПРС; |
|
вывих плотность |
u0026 Lt; 1x10 6 см -2 |
u0026 ЕПРС; |
|
пригодная поверхность площадь |
≥ 80% |
u0026 ЕПРС; |
|
полирование |
одна сторона полированный |
u0026 ЕПРС; |
|
подложка |
гааз-субстрат |
u0026 ЕПРС; |
* Мы также можем предоставить поликристаллический гааз-бар, 99,9999% (6н).
мы производим различные типы полупроводниковых материалов n-типа с полупроводниковыми материалами типа n-типа, основанные на ga, al, in, as и p, выращенные mbe или mocvd. мы поставляем таможенные структуры для удовлетворения требований заказчика. свяжитесь с нами для получения дополнительной информации.5
кремниевая эпитаксиальная пластина (epi wafer) представляет собой слой монокристаллического кремния, нанесенного на монокристаллическую кремниевую пластину (примечание: имеется возможность выращивать слой поликристаллического кремния поверх высоколегированной однослойной кристаллической кремниевой пластины, но для этого требуется буферный слой (так5
pam-xiamen предлагает фоторезистскую пластину с фоторезистом мы можем предложить нанолитографию (фотолитография): подготовка поверхности, фоторезист, мягкое выпекание, выравнивание, экспозиция, разработка, твердый выпекание, разработка инспекции, травление, удаление фоторезиста (полоска), окончательная проверка.5
Предложения pam-xiamen фотошаблонов фотомаска - это тонкое покрытие маскирующего материала, поддерживаемого более толстой подложкой, и маскирующий материал в разной степени поглощает свет и может быть выполнен с использованием индивидуального дизайна. шаблон используется для модуляции света и передачи картины через процесс фотолитографии, который я5
Эпитаксиальная пластина на основе ламината pam-xiamen's (галлиевого нитрида) предназначена для применения в ультра-высокой яркости синего и зеленого светодиодов (светодиодных) и лазерных диодов (ld).5
нитрид галлия (gan) (транзисторы с высокой электронной подвижностью) являются следующим поколением высокочастотной транзисторной технологии. Благодаря технологии gan, pam-xiamen теперь предлагает epig wafer algan / gan на сапфире или кремнии и шаблон algan / gan на сапфире ,5
pam-xiamen предлагает полупроводниковые пластины из карбида кремния, 6h sic и 4h sic в разных классах качества для исследователя и промышленными производителями. мы разработали технологию выращивания кристаллов sic и технологию обработки кристаллов sic crystal, установила производственную линию для изготовителя sic-субстрата, который применяется в 5
травильная пластина имеет характеристики низкой шероховатости, хорошей глянцевитости и относительно низкой стоимости и непосредственно заменяет полированную пластину или эпитаксиальную пластину, которая имеет относительно высокую стоимость для производства электронных элементов в некоторых областях, чтобы снизить затраты. есть пластины с низкой шер5
Контактная информация
luna@powerwaywafer.compowerwaymaterial@gmail.com 
+86-592-5601 404
