2. Определение размерных свойств, терминологии и методов карбида кремния

категории

Рекомендуемые продукты

последние новости

  • Диаметр 2-1.

    2018-01-08

    линейное расстояние по поверхности кругового среза, которое содержит центр среза, и исключает любые квартиры или другие периферийные фидуциарные зоны. стандартные диаметры кремниевых пластин: 25,4 мм (1 дюйм), 50,4 мм (2 дюйма), 76,2 мм (3 дюйма), 100 мм (4 дюйма), 125 мм (5 дюймов), 150 мм (6 дюймов), 200 мм (8 дюймов) , и 300 мм (12 \"). линейный размер по поверхности пластины. измерение выполняется вручную с помощью цифровых суппортов ansi, сертифицированных на каждой отдельной пластине.

  • Толщина 2-2.вафер, центральная точка

    2018-01-08

    тонкий (толщина зависит от диаметра пластины, но обычно меньше 1 мм), круговой срез монокристаллического полупроводникового материала, вырезанного из слитка монокристаллического полупроводника; используемые при изготовлении полупроводниковых приборов и интегральных схем; диаметр пластины может составлять от 5 мм до 300 мм. измеренный с помощью бесконтактных инструментов ansi, расположенных в центре каждой отдельной пластины.

  • 2-3.ваферная плоская длина

    2018-01-08

    линейный размер at, измеренный с помощью цифровых суппортов ansi, на образце одной пластины на слиток.

  • Ориентация поверхности 2-4.

    2018-01-08

    обозначает ориентацию поверхности пластины по отношению к кристаллографической плоскости внутри решетчатой ​​структуры. в пластинах, урезанных преднамеренно «от ориентации», направление разреза параллельно первичному  в, вдали от вторичного  at. измеренный рентгеновским гониометром на образце одной пластины на слиток в центре пластины.

  • 2-5.misorientation

    2018-01-08

    в пластинах, урезанных преднамеренно «от ориентации», угол между проекцией нормального вектора на вафли поверхность на плоскость {0001} и проекцию на эту плоскость ближайших \u0026 lt; 11-20 \u0026 gt; направление.

  • 2-6.wafer основная квартира

    2018-01-08

    плоскость самой длинной длины на пластине, ориентированная таким образом, что хорда параллельна заданной плоскости кристалла с низким индексом; большая квартира. первичная at - плоскость {10-10} с гранью at, параллельной \u0026 lt; 11-20 \u0026 gt; направление.

  • 2-7. Первичная плоская ориентация

    2018-01-08

    at самой длинной длины на пластине, ориентированной так, что хорда параллельна заданной плоскости кристалла с низким индексом. измеренный на одной пластине на слиток с использованием технологии обратной повторной обработки с ручным измерением угла.

  • 2-8. Средняя плоская ориентация

    2018-01-08

    a at более короткой длины, чем первичная ориентация at, положение которой относительно первичной ориентации  определяет лицо пластины.

первый 1 2 3 4 5 >> последний
[  Всего  5  страницы]

свяжитесь с нами

если вам нужна цитата или дополнительная информация о наших продуктах, пожалуйста, оставьте нам сообщение, ответьте как можно скорее.