сик-эпитаксия

SIC (карбид кремния) эпитаксия

мы предоставляем пользовательскую тонкую пленку (карбид кремния) sic эпитаксия на 6h или 4h подложках для разработки устройств из карбида кремния. sic epi wafer в основном используется для диодов Шоттки, полупроводниковых полевых транзисторов с металлическим оксидом, транзисторов с полевым эффектом перехода, биполярных транзисторов, тиристоров, gto и изоляционных затворов биполярных.

заметки:

• исключение края 2 мм для 50,8 и 76,2 мм, исключение края 3 мм для 100,0 мм

• среднее значение всех точек измерения для толщины и концентрации носителей (см. Стр. 5)

• epi-слои n-типа u0026 lt; 20 мкм предшествуют буферным слоем n-типа, 1e18, 0,5 микрон

• не все плотности легирования доступны во всех толщинах

• единообразие: стандартное отклонение (σ) / среднее

• любое специальное требование по эпи-параметру предоставляется по запросу

методы испытаний

no.1. концентрация носителей: чистое легирование определяется как среднее значение по аферу с использованием hg-зонда cv.

№ 2. толщина: толщина определяется как среднее значение на пластине с использованием ftir.

№ 3. Крупные точечные дефекты: микроскопическое обследование, проведенное в 100 раз, на оптическом микроскопе олимпуса или сопоставимое.

No.4. осмотр дефектов epi, выполненных под анализатором оптической поверхности kla-tencor candela cs20.

No.5. ступенчатая группировка: ступенчатая группировка и шероховатость сканируются afm (атомный силовой микроскоп) на площади 10 мкм x 10 мкм

описания больших точечных дефектов

дефекты, которые имеют четкую форму для незакрепленного глаза и являются u0026 gt; 50 микрон в поперечнике. эти функции включают в себя шипы, адгезивные частицы, чипы и символы. большие точечные дефекты менее 3 мм друг от друга считаются одним дефектом.

описания дефектов эпитаксии

d1. 3c включения

регионах, где прецессия была прервана при росте эпильного слоя. типичные области обычно треугольные, хотя более округлые формы являются примерно одинаковыми. подсчитывать один раз в каждом случае. два включения в пределах 200 мкм считаются единичными.

d2. хвосты кометы

хвосты комет имеют дискретную головку и хвост хвоста. эти функции выровнены параллельно с основным  at. Обычно все кометные хвосты имеют одинаковую длину. подсчитывать один раз в каждом случае. два кометных хвоста в пределах 200 микрон считаются единичными.

d3. морковь

похожие на кометные хвосты по внешнему виду, за исключением того, что они более угловаты и не имеют адискретной головы. если они присутствуют, эти функции выровнены параллельно основной  at. обычно любая морковь, имеющаяся, имеет тенденцию иметь одинаковую длину. подсчитывать один раз. две моркови в пределах 200 мкм считаются одной.

d4. частицы

частицы имеют вид глаз, и если они, как правило, концентрируются на границах пластины, а не в пределах определенной области. если они присутствуют, подсчитывать один раз. две частицы в пределах 200 мкм считаются единичными.

d5. капли кремния

силиконовые капли могут появляться либо в виде небольших курганов, либо впадин в поверхности вафли. обычно отсутствуют, но если они в основном сконцентрированы по периметру пластины. если они имеются, оцените% затронутой области.

d6. ниспровержение

адгезивные частицы выпадали во время роста эпи.

применение sic-эпитаксиальной пластины

коррекция коэффициента мощности (pfc)

инверторы и инверторы (бесперебойные источники питания) инверторы

двигатели

выпрямление

гибридные или электрические транспортные средства

sic schottky диод с 600v, 650v, 1200v, 1700v, 3300v.