линейное расстояние по поверхности кругового среза, которое содержит центр среза, и исключает любые квартиры или другие периферийные фидуциарные зоны. стандартные диаметры кремниевых пластин: 25,4 мм (1 дюйм), 50,4 мм (2 дюйма), 76,2 мм (3 дюйма), 100 мм (4 дюйма), 125 мм (5 дюймов), 150 мм (6 дюймов), 200 мм (8 дюймов) , и 300 мм (12 \"). линейный размер по поверхности пластины. измерение выполняется вручную с помощью цифровых суппортов ansi, сертифицированных на каждой отдельной пластине.
тонкий (толщина зависит от диаметра пластины, но обычно меньше 1 мм), круговой срез монокристаллического полупроводникового материала, вырезанного из слитка монокристаллического полупроводника; используемые при изготовлении полупроводниковых приборов и интегральных схем; диаметр пластины может составлять от 5 мм до 300 мм. измеренный с помощью бесконтактных инструментов ansi, расположенных в центре каждой отдельной пластины.
линейный размер at, измеренный с помощью цифровых суппортов ansi, на образце одной пластины на слиток.
обозначает ориентацию поверхности пластины по отношению к кристаллографической плоскости внутри решетчатой структуры. в пластинах, урезанных преднамеренно «от ориентации», направление разреза параллельно первичному в, вдали от вторичного at. измеренный рентгеновским гониометром на образце одной пластины на слиток в центре пластины.
в пластинах, урезанных преднамеренно «от ориентации», угол между проекцией нормального вектора на вафли поверхность на плоскость {0001} и проекцию на эту плоскость ближайших \u0026 lt; 11-20 \u0026 gt; направление.
плоскость самой длинной длины на пластине, ориентированная таким образом, что хорда параллельна заданной плоскости кристалла с низким индексом; большая квартира. первичная at - плоскость {10-10} с гранью at, параллельной \u0026 lt; 11-20 \u0026 gt; направление.
at самой длинной длины на пластине, ориентированной так, что хорда параллельна заданной плоскости кристалла с низким индексом. измеренный на одной пластине на слиток с использованием технологии обратной повторной обработки с ручным измерением угла.
a at более короткой длины, чем первичная ориентация at, положение которой относительно первичной ориентации определяет лицо пластины.
Контактная информация
luna@powerwaywafer.compowerwaymaterial@gmail.com 
+86-592-5601 404
