чтобы свести к минимуму затраты на разработку и производство силовой электроники, важно, чтобы технология sic device использовала как можно больше преимуществ существующей инфраструктуры обработки кремния и гаса. как будет обсуждаться в этом разделе, большинство шагов, необходимых для изготовления sic-электроники, начиная с sic-пластин, могут быть выполнены с использованием нескольких модифицированных коммерческих процессов кремниевой электроники и инструментов изготовления.