подложки для осаждения пленки нитрида III-V
кристалл
состав
т.пл.
плотность
решетка неправильная для gan
тепловое расширение
технология роста. . \u0026 Амп; максимальный размер
стандартный размер подложки (мм)
о с
г / см 3
(10 -6 / К)
так
(Пример 6h)
шестиугольный
~ 2700
3,21
3,5% атори.
10,3
CVD
Ø2 \"x 0,3, Ø 3\" x0,3
a = 3.073 Å
\u0026 ЕПРС;
\u0026 ЕПРС;
20x20x0.3,15x15x0.3
c = 15,117 Å
\u0026 ЕПРС;
Ø3“
10x10x0.3,5x5x0.3
\u0026 ЕПРС;
subl.
\u0026 ЕПРС;
1 сторона поли полированная
аль 2 о 3
шестиугольный
2030
3,97
14% атори.
7,5
CZ
Ø50 x 0,33
a = 4,758 Å
\u0026 ЕПРС;
Ø25 x 0,50
c = 12,99 Å
Ø2”
10x10x0.5
\u0026 ЕПРС;
\u0026 ЕПРС;
1 или 2 стороны, отполированные
LiAlO 2
четырехугольный
1900 ~
2,62
1,4% атори.
/
CZ
10x10x0.5
a = 5,17 Å
Ø20 мм
1 или 2 стороны, отполированные
c = 6,26 Å
\u0026 ЕПРС;
\u0026 ЕПРС;
Ligao 2
orthor.
1600
4,18
0,2% атори.
/
CZ
10x10x0.5
a = 5,406 Å
Ø20 мм
1 или 2 стороны, отполированные
б = 5.012Å
\u0026 ЕПРС;
\u0026 ЕПРС;
c = 6,379 Å
\u0026 ЕПРС;
\u0026 ЕПРС;
МдО
кубический
2852
3,58
3% атори.
12,8
флюс
2 \"x2\" x 0,5 мм, Ø2 \"x 0,5 мм
a = 4,216 Å
\u0026 ЕПРС;
1 \"x1\" x 0,5 мм, Ø1 \"x 0,5 мм
\u0026 ЕПРС;
Ø2\"
10 x10x0,5 мм
1 или 2 стороны, отполированные
миллигал 2 о 4
кубический
2130
3,6
9% атори.
7,45
CZ
Ø2 \"x 0,5
a = 8,083 Å
Ø2“
10x10x0.5
\u0026 ЕПРС;
\u0026 ЕПРС;
1 или 2 стороны, отполированные
ZnO
hexag.
1975
5,605
2,2% атори.
2,9
гидротермический
20x20x0.5
a = 3,325 Å
20мм
1 или 2 стороны, отполированные
c = 5,213 Å
\u0026 ЕПРС;
\u0026 ЕПРС;
ган
шестиугольный
\u0026 ЕПРС;
6,15
\u0026 ЕПРС;
5,59
\u0026 ЕПРС;
10x10x0.475mm
\u0026 ЕПРС;
\u0026 ЕПРС;
5x5x0.475mm