suss microtec, мировой поставщик оборудования и технологических решений для полупроводниковой промышленности и смежных рынков, запустила линейку li - новую платформу для лазерной обработки поверхности, как было объявлено 4 мая 2016 года.

высокотехнологичная технология лития для обработки поверхности лазером варьируется от субмикрометрического разбиения подложки с покрытием с покрытием до микроабразии, фотохимической обработки, а также метрологии.

шаблоны, определяемые кад-процессом, переносятся путем точного перемещения целевых субстратов под фокусированным и сканирующим лазерным лучом. Кроме того, конфигурация лазерного тепловизора настраивается очень точно, чтобы соответствовать конкретным требованиям каждого пользователя. технология поддерживает размеры подложки от мелких кусочков до 300 мм и достигает разрешения до 0,8 мкм. многослойное выравнивание возможно через оптические системы выравнивания верхней и нижней сторон. помимо лазерного лазера 405 нм для стандартных процессов тонкой резистентной литографии, второй лазерный источник также может быть добавлен для дополнительного решения различных процессов, таких как, среди прочего, толстые резисты, такие как su8, и инфракрасные чувствительные материалы.

Основным преимуществом лазерного тепловизора является его гибкость, что делает его пригодным для различных требований академических и промышленных предприятий. основные приложения включают в себя широкий спектр нано- и 3d-структурирования для литографии с высоким разрешением, микрооптические компоненты, датчики, микрожидкостные устройства и производство фотомасок.

«С платформой поверхностной лазерной визуализации мы добавляем инструмент в наш портфель продуктов, который расширяет наше существующее оборудование для экспозиции, настроенное на требования к более высоким требованиям для ведущих приложений», - говорит д-р. per-ove hansson, ceo suss microtec ag. «С этим дополнением мы повышаем нашу лидирующую позицию и предлагаем самый полный набор продуктов и технологий для рынка литографии и рынка».

Ключевые слова: suss microtec gan лазерные лазерные устройства

Источник: ledinside

Для получения более подробной информации, пожалуйста, посетите наш веб-сайт: http://www.semiconductorwafers.net ,

отправьте нам письмо по адресу angel.ye@powerwaywafer.com или powerwaymaterial@gmail.com ,