Мы измерили трансмиссионные инфракрасные Фурье-спектры кубического карбида кремния.(политип 3C–SiC) эпитаксиальный слой толщиной 20 мкм на кремниевой подложке толщиной 200 мкм. Спектры регистрировали в диапазоне волновых чисел 400–4000 см–1. Представлен новый подход к вычислению ИК-спектров, основанный на рекурсивных возможностях языка программирования Си, на основе распространения поляризованного света в слоистых средах с использованием обобщенных уравнений Френеля. Комплексные показатели преломления являются единственными входными параметрами. Обнаружено замечательное согласие между всеми экспериментальными спектральными особенностями SiC и Si и расчетными спектрами. Комплексное определение (i) двух фундаментальных поперечных оптических (TO) (790 см-1) и продольных оптических (LO) (970 см-1) фононных мод 3C-SiC, (ii) с их обертонами (1522–1627 см–1) и (iii) двухфононное оптико-акустическое суммирование полос (1311–1409 см–1) достигается на основании имеющихся литературных данных. Такой подход позволяет выделить соответствующие вклады подложки Si иВерхний слой SiC . Такие расчеты могут быть применены к любой среде при условии, что известны данные комплексного показателя преломления.

Источник: IOPscience

Для получения дополнительной информации посетите наш веб-сайт:  www.semiconductorwafers.net ,

отправьте нам электронное письмо по адресу  sales@powerwaywafer.com  и  powerwaymaterial@gmail.com