тестовая пластина

sl no

пункт

SCL  технические характеристики

1

метод выращивания

CZ

2

диаметр пластины

150 ± 0,5 мм

3

толщина пластины

675 ± 25 мкм

4

поверхность пластины  ориентация

u0026 Л; 100 u0026 GT; ± 2 °

5

добавка

фосфор

6

вывих  плотность

меньше, чем  5000 / см2

8

удельное сопротивление

4-7Ωcm

9

радиальный  изменение удельного сопротивления (макс.)

15%

10

ровность

u0026 ЕПРС;

10a

·  лук (макс.)

60 мкм

10b

·  tir (макс.)

6 мкм

10с

·  конусность (макс.)

12 мкм

10d

·  деформация (макс.)

60 мкм

11

первичный  квартира

u0026 ЕПРС;

11а

·  длина

57,5 ± 2,5 мм

11b

·       ориентация

{110} ± 2 ° по  полустандарт

11с

вторичный  квартира

по полу  стандарт

12

передняя поверхность  Конец

зеркальный полированный

13

Максимум. частицы  от размера ≥ 0,3 мкм

30

14

·  царапины, дымка, крошечные чипсы, апельсиновая корка и amp; другие дефекты

ноль

15

задняя поверхность

без ущерба  травленый

16

упаковка  требование

должен быть вакуумом  запечатанные в классе «10» в двухслойной упаковке.  отправлены в фторопласт или два грузоотправителя вафли или аналогичные  ультрачистый полипропилен

sl no

пункт

SCL  технические характеристики

1

метод выращивания

CZ

2

диаметр пластины

150 ± 0,5 мм

3

толщина пластины

675 ± 25 мкм

4

поверхность пластины  ориентация

u0026 Л; 100 u0026 GT; ± 2 °

5

добавка

фосфор

6

вывих  плотность

меньше, чем  5000 / см2

8

удельное сопротивление

4-7Ωcm

9

радиальный  изменение удельного сопротивления (макс.)

15%

10

ровность

u0026 ЕПРС;

10a

·  лук (макс.)

60 мкм

10b

·  tir (макс.)

6 мкм

10с

·  конусность (макс.)

12 мкм

10d

·  деформация (макс.)

60 мкм

11

первичная квартира

u0026 ЕПРС;

11а

·  длина

57,5 ± 2,5 мм

11b

·       ориентация

{110} ± 2 ° по  полустандарт

11с

вторичная квартира

по полу  стандарт

12

передняя поверхность  Конец

зеркальный полированный

13

Максимум. частицы  от размера ≥ 0,3 мкм

30

14

·  царапины, дымка, краевые чипы,

ноль

апельсиновая корка  u0026 Амп; другие дефекты

15

задняя поверхность

зеркальный полированный

16

упаковка  требование

должен быть вакуумом  запечатанный в классе '10'
окружающая среда в двухслойной упаковке.
вафли должны быть отправлены во флюсору
orion два грузоотправителя вафли или эквивалент
сделать из ультрачистого полипропилена

диаметр пластины

полированный

поверхность пластины

толщина пластины

удельное сопротивление

частица

ориентация

4 "

1 сторона

100/111

250-500μm

0-100

0.2μm≤qty30

6 "

1 сторона

100

500-675μm

0-100

0.2μm≤qty30

8 "

1 сторона

100

600-750μm

0-100

0.2μm≤qty30

12 "

2 стороны

100

650-775μm

0-100

0.09μm≤qty100

пункт#

параметр

единицы

стоимость

заметки

1

метод роста

u0026 ЕПРС;

CZ

u0026 ЕПРС;

2

ориентация

u0026 ЕПРС;

1-0-0

u0026 ЕПРС;

3

удельное сопротивление

Ωм.см

1-50

u0026 ЕПРС;

4

тип / легирующий

u0026 ЕПРС;

р, п /

u0026 ЕПРС;

бор,  фосфор

5

толщина

мкм

1гр. - 620,

u0026 ЕПРС;

2гр. - 650

3гр. - 680

4гр. - 700

5гр. - 720

6

gbir (ttv

мкм

1-3гр. u0026 Л; 30,

u0026 ЕПРС;

4-5гр. u0026 Л; 20

7

glfr (tir

мкм

u0026 Л; 10

u0026 ЕПРС;

8

деформироваться

мкм

u0026 Л; 60

u0026 ЕПРС;

9

лук

мкм

u0026 Л; 40

u0026 ЕПРС;

10

металл  загрязнение

1 / см2

u0026 Lt; 3E10

u0026 ЕПРС;

11

передняя поверхность

u0026 ЕПРС;

полированный

u0026 ЕПРС;

12

передняя поверхность  визуальный:

u0026 ЕПРС;

u0026 ЕПРС;

u0026 ЕПРС;

дымка, царапины,  пятна, пятна

u0026 ЕПРС;

никто

апельсиновая корка

u0026 ЕПРС;

никто

трещины, кратеры

u0026 ЕПРС;

никто

13

лицевая сторона lpd:

u0026 ЕПРС;

u0026 ЕПРС;

количество вафель  с указанным значением параметра должно быть не менее 80% партии,

u0026 Lt; 0,12мкм

u0026 ЕПРС;

u0026 Л; 100

u0026 Lt; 0,16мая

u0026 ЕПРС;

u0026 Л; 50

u0026 Lt; 0,20мая

u0026 ЕПРС;

u0026 Л; 20

u0026 Lt; 0,30мая

u0026 ЕПРС;

u0026 Л; 10