интенсивность и интенсивность света рассеяния кислорода в cz-кремний кристаллы измеряются с помощью светорассеивающей томографии. численные данные, проясненные посредством измерений, обсуждаются в отношении количества осажденного кислорода. полученные здесь результаты хорошо согласуются с теоретическим анализом того, что осадки кислорода вызывают рассеяние света. информация, полученная с помощью с...
Wafer Foundry: 26321#, Liamei Rd. Lianhua Industrial Area, Tong an, Xiamen 361100, China
Контактная информация
luna@powerwaywafer.com
powerwaymaterial@gmail.com
+86-592-5601 404








